SEMの制御から画面の表示、記録までの操作をマウスでできるPC SEMです。充実したオート機能と簡単に最適条件を設定することができるレシピ機能および簡易DTP機能(オプション)により真空排気、像観察、レポート作成までの一連の作業を効率よく行えます。またズームコンデンサレンズは、高分解能観察とEDSによる元素分析時、プローブ電流を変えてもフォーカスと観察位置が変わらず、使いやすい高性能光学系です 。
仕様・オプション
分解能 | 3.5 nm |
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加速電圧 | 0.5~30kV(53段切換) |
倍率 | ×18~300,000 |
試料寸法 | 150mmφ(最大) |
試料移動 | X方向:20mm Y方向:10mm
Z方向:5~48mm、傾斜:-10゜~90° 回転:360° |
アプリケーション
JSM-5510_5510LVに関するアプリケーション
走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察5:ステレオ3Dアナグリフ写真集
走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察4:アナグリフ方式ステレオ写真
走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察3:ステレオメガネの紹介
走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察2:ステレオ写真の見かた