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JSM-6460と同じ高精度電子光学系を150mmの汎用形試料用試料室に搭載した、高性能汎用走査電子顕微鏡。
多くのユーザーが使用する環境を考慮して開発され、分かりやすく快適な操作を可能にしたソフトを搭載 。
仕様・オプション
| 分解能 | 3.0 nm |
|---|---|
| 加速電圧 | 0.5～30kV（53段切換） |
| 倍率 | ×5～300,000 |
| 試料寸法 | 150mmφ（最大） |
| 試料移動 | X方向：80mm Y方向：40mm
Z方向：5～48mm、傾斜：－10゜～90° 回転：360° |
アプリケーション
JSM-6360_6360LVに関するアプリケーション
EPMA法による殷墟青銅器の分析と古代中国青銅器鋳造法の解明
Electron Microprobe Study of the Yinxu (Anyang) Bronze of Academia Sinica Collection
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