特大試料の観察もできる超大形試料室と大形試料ステージを搭載
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高精度電子光学系を200mmの大形試料用試料室に搭載した、高性能大形汎用走査電子顕微鏡。多くのユーザーが使用する環境を考慮して開発され、分かりやすく快適な操作を可能にしたソフトを搭載。
仕様・オプション
分解能 | 3.0 nm |
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加速電圧 | 0.31~30kV(55段切換) |
倍率 | ×5~300,000 |
試料寸法 | 203mmφ(最大) |
試料移動 | X方向:125mm Y方向:10mm
Z方向:5~80mm、傾斜:-10゜~70° 回転:360° (5軸モータ駆動) |
アプリケーション
SM-6460_6460LVに関するアプリケーション
走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察5:ステレオ3Dアナグリフ写真集
走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察4:アナグリフ方式ステレオ写真
走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察3:ステレオメガネの紹介
走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察2:ステレオ写真の見かた