SEMICON JAPAN 2025

公開日： 2025/05/12

主催: SEMI

故障解析やプロセス開発用途として使用される電子顕微鏡をはじめとした各種、理科学・計測機器や、リソグラフィー用途として使用される電子ビーム描画装置の紹介を行います。実機展示として、半導体試料観察が得意な新型冷陰極電界放出電子銃搭載走査電子顕微鏡 JSM-IT810 （参考展示）及び、高スループット・自動化機能搭載の汎用走査電子顕微鏡 JSM-IT710HRのファンクションデモを行います。更に、JSM-IT810のショートプレゼンも実施予定です。ファンクションデモおよびショートプレゼンの詳細は下記に記載がございますのでご参照ください。
ご多忙中とは存じますが、この機会にぜひご来場頂きます様、謹んでご案内申し上げます。

日程	2025年12月17日 (水)～19日 (金) 10:00～17:00
会場	東京ビッグサイト南展示棟1階 1ホールブースNo.S1204 〒135-0063 東京都江東区有明3丁目11-1 (アクセスはこちら)
お問い合せ	日本電子株式会社デマンド推進本部 e-mail: jeol_event[at]jeol.co.jp [at]は＠に、ご変更ください。

日程

2025年12月17日 (水)～19日 (金)
10:00～17:00

会場

東京ビッグサイト
南展示棟1階 1ホールブースNo.S1204
〒135-0063 東京都江東区有明3丁目11-1 (アクセスはこちら)

お問い合せ

日本電子株式会社
デマンド推進本部
e-mail: jeol_event[at]jeol.co.jp

[at]は＠に、ご変更ください。

展示内容

新型冷陰極電界放出電子銃搭載走査電子顕微鏡 JSM-IT810

先端半導体デバイス物理解析に優れた超高分解能走査電子顕微鏡です。自動機能（観察・分析・保守）に加え、新開発冷陰極電界放出電子銃により低加速電圧であっても高品質な SEM観察を実現したJSM-IT810をブースで展示いたします。新開発冷陰極電界放出電子銃の鮮明な画像をご体感ください。

JSM-IT810の製品紹介をみる

防音エンクロージャー NeoComfortの製品紹介をみる

ファンクションデモ事前予約お申し込みフォーム

FE-SEM JSM-IT810の実機によるファンクションデモンストレーション（機能紹介）につきまして事前予約を受け付けております。予約をご希望の方は、下記フォームよりお申し込みください。なお、JSM-IT710HRの実機も展示いたしますが、こちらのデモンストレーションにつきましては事前予約は行っておりません。当日そのままブースにお越しください。

お申し込みフォームはこちら

ブース内ショートプレゼン

新開発冷陰極電界放出電子銃搭載 JSM-IT810の製品紹介や、応用事例を紹介する10分程度のブース内ショートプレゼンを開催します。専門スタッフによる解説で、装置の魅力や活用方法をより深くご理解いただけます。お気軽にご参加ください。

12月17日(水)	11:00～11:10 「進化したJSM-IT810のポイントと高分解能観察のコツ」 14:00～14:10 「進化したJSM-IT810のポイント」
12月18日(木)	11:00～11:10 「進化したJSM-IT810のポイントと先端デバイスのArイオン剥離研磨のコツ」 14:00～14:10 「進化したJSM-IT810のポイント」
12月19日(金)	11:00～11:10 「進化したJSM-IT810のポイントと電位コントラスト観察のコツ」 14:00～14:10 「進化したJSM-IT810のポイント」