対応装置
電子顕微鏡関係
科学・計測機器サービス事業部 受託グループ
走査電子顕微鏡
SEM 受託装置仕様
| 機種名 | GUN | 検出器 | EDS検出器 | EDS Analyzer | Option | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| FE-SEM | JSM-7800FPRIME | Schottky | RBEI/TED | 100mm2 | JED | 軟X線 |
| JSM-7100F | Schottky | RBEI | 100mm2 | JED | 加熱ステージ 常温～1200℃（Protochips 社製） 低真空（LV） 加熱冷却ステージ（Deben 社製）±50°C 加熱ステージ 常温～500°C（TSL 社製） |
|
| JSM-7001F | Schottky | RBEI | 10mm2 | JED | EBSD（TSL 社製） 日本電子製クライオステージ 加熱ステージ 常温～ 500°C（TSL 社製） |
|
| W-SEM | JSM-IT300 | W | - | 10mm2 | JED | 加熱冷却ステージ（Deben 社製）±50°C |
透過電子顕微鏡
TEM 受託装置仕様
| 機種名 | GUN | 加速電圧 | 観察モード | カメラ | |
|---|---|---|---|---|---|
| JEM-ARM200F | 収差補正装置搭載 | CFE | 80 / 200kV | TEM/STEM | USC1000XP（Gatan 社製） |
| JEM-ARM200F ACCELARM |
One View（Gatan 社製） | ||||
| JEM-2100F | - | Schottky | 200kV | USC1000XP（Gatan 社製） | |
| JEM-1400Plus | W | 120kV | 日本電子製 高感度sCMOSカメラ |
| 機種名 | EDS検出器 | EDS Analyzer | EELS | カメラ |
|---|---|---|---|---|
| JEM-ARM200F | 100mm2（1本） | JED | Quantum ER（Gatan 社製） | 二次電子（MCP) TEMography（トモグラフ、SIF 社製） NBD Studium（歪解析システム、SIF 社製） |
| JEM-ARM200F ACCELARM |
100mm2（2本） | JED NSS7（Thermo Fisher Scientific 社製） |
結像系球面収差補正装置 二次電子（MCP) 低加速電圧：30kV、60kV、120kV |
|
| JEM-2100F | 100mm2 | JED | - | TEMography（トモグラフ、SIF 社製） |
| JEM-1400Plus | - | - | - | - |
特殊ホルダー
加熱：Protochips 社製（室温～1200 ℃）JEM-ARM200F、JEM-2100F にて対応可能
冷却：Gatan 社製 二軸冷却（液体窒素温度範囲）JEM-ARM200F、JEM-2100F にて対応可能
液中：Protochips 社製（要事前打合せ）
非暴露観察システム：Air isolation system（要事前打合せ）
電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）
EPMA 受託装置仕様
| 機種名 | GUN | EDS検出器 | EDS Analyzer | Option |
|---|---|---|---|---|
| JXA-8500F | Schottky | - | - | - |
| JXA-8230 | W | 10mm2 | FA/JED | 透過照明 |
走査プローブ顕微鏡
集束イオンビーム加工観察装置（FIB）
FIB 受託装置仕様
| 機種名 | GUN（SEM） | EDS検出器 | EDS Analyzer | Option |
|---|---|---|---|---|
| JIB-4700F | Schottky | RBEI | - | GIS：C 加熱冷却ステージ（Deben 社製）±50°C |
その他周辺機器
電子顕微鏡関係お問い合わせ先
科学・計測機器サービス事業部
受託グループ
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質量分析（MS）
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質量分析計
質量分析 (MS)
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解析はしておりません。