【フィールドソリューション事業部 受託グループ】 電子顕微鏡関係

走査電子顕微鏡



SEM 受託装置仕様

機種名 GUN 検出器 EDS検出器 EDS Analyzer Option
FE-SEM JSM-7800FPRIME Schottky RBEI/TED 100mm2 JED 軟X線
JSM-7100F Schottky RBEI 100mm2 JED
  • 加熱ステージ 常温~1200℃(Protochips 社製)
  • 低真空(LV)
  • 加熱冷却ステージ(Deben 社製)±50°C
  • 加熱ステージ 常温~500°C(TSL 社製)
JSM-7001F Schottky RBEI 10mm2 JED
  • EBSD(TSL 社製)
  • 日本電子製クライオステージ
  • 加熱ステージ 常温~ 500°C(TSL 社製)
W-SEM JSM-IT300 W - 10mm2 JED 加熱冷却ステージ(Deben 社製)±50°C

透過電子顕微鏡



TEM 受託装置仕様

機種名 GUN 加速電圧 観察モード カメラ
JEM-ARM200F 収差補正装置搭載 CFE 80 / 200kV TEM/STEM USC1000XP(Gatan 社製)
JEM-ARM200F ACCELARM One View(Gatan 社製)
JEM-2100F - Schottky 200kV USC1000XP(Gatan 社製)
JEM-1400Plus W 120kV 日本電子製 高感度sCMOSカメラ

機種名 EDS検出器 EDS Analyzer EELS Option
JEM-ARM200F 100mm2(1本) JED Quantum ER(Gatan 社製)
  • 二次電子(MCP)
  • TEMography(トモグラフ、SIF 社製)
  • NBD Studium(歪解析システム、SIF 社製)
JEM-ARM200F ACCELARM 100mm2(2本) JED
NSS7(Thermo Fisher Scientific 社製)
  • 結像系球面収差補正装置
  • 二次電子(MCP)
  • 低加速電圧:30kV、60kV、120kV
JEM-2100F 100mm2 JED -
  • TEMography(トモグラフ、SIF 社製)
JEM-1400Plus - - - -

特殊ホルダー

  • 加熱:Protochips 社製(室温~1200 ℃)JEM-ARM200F、JEM-2100F にて対応可能
  • 冷却:Gatan 社製 二軸冷却(液体窒素温度範囲)JEM-ARM200F、JEM-2100F にて対応可能
  • 液中:Protochips 社製(要事前打合せ)
  • 非暴露観察システム:Air isolation system(要事前打合せ)

電子プローブマイクロアナライザ



EPMA 受託装置仕様

機種名 GUN EDS検出器 EDS Analyzer Option
JXA-8500F Schottky - - -
JXA-8230 W 10mm2 FA/JED 透過照明

走査プローブ顕微鏡

集束イオンビーム加工観察装置



FIB 受託装置仕様

機種名 GUN(SEM) EDS検出器 EDS Analyzer Option
JIB-4700F Schottky RBEI -
  • GIS:C
加熱冷却ステージ(Deben 社製)±50°C

その他周辺機器

電子顕微鏡関係

フィールドソリューション事業部 受託グループ

042-542-1106
042-546-1044

【SI営業本部 ソリューション推進室 受託分析推進グループ】 質量分析(MS)

質量分析計

質量分析(MS)

SI営業本部 ソリューション推進室 受託分析推進グループ

03-6262-3566
03-6262-3577

【株式会社JEOL RESONANCE】 核磁気共鳴(NMR)

核磁気共鳴装置

核磁気共鳴(NMR)

株式会社JEOL RESONANCE

042-542-2241